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超聲波掃描業(yè)務(wù)簡(jiǎn)介

超聲波掃描顯微鏡是一種利用超聲波作為傳播媒介的無(wú)損檢測(cè)設(shè)備，在工作中采用反射或者透射等掃描方式來(lái)檢查元器件、材料、晶圓等樣品內(nèi)部的分層、空洞、裂縫等缺陷。作為無(wú)損檢測(cè)分析中的一種，它可以實(shí)現(xiàn)在不破壞物料電氣能和保持結(jié)構(gòu)完整性的前提下對(duì)物料進(jìn)行檢測(cè)，被廣泛的應(yīng)用在物料檢測(cè)（IQC）、失效分析（FA）、破壞性物理分析（DPA）、可靠性分析、元器件二次篩選、質(zhì)量控制(QC)、質(zhì)量保證及可靠性(QA/REL)、研發(fā)(R&D)等領(lǐng)域。

超聲波掃描原理

超聲波在介質(zhì)中傳播時(shí)，若遇到不同密度或彈性系數(shù)的物質(zhì)，會(huì)產(chǎn)生反射回波，而此種反射回波強(qiáng)度會(huì)因材料密度不同而有所差異，掃描聲學(xué)顯微鏡利用此特性來(lái)檢出材料內(nèi)部的缺陷并依所接收的信號(hào)變化將之成圖像，超聲換能器能發(fā)出一定頻率的超聲波，經(jīng)過(guò)聲學(xué)透鏡聚焦，由耦合介質(zhì)傳到樣品上。超聲換能器由電子開(kāi)關(guān)控制，使其在發(fā)射方式和接收方式之間交替變換。超聲脈沖透射進(jìn)入樣品內(nèi)部并被樣品內(nèi)的某個(gè)界面反射形成回波，其往返的時(shí)間由界面到換能器的距離決定，回波由示波器顯示，其顯示的波形是樣品不同界面的反射強(qiáng)度與時(shí)間（或距離）的關(guān)系。

通過(guò)控制時(shí)間窗口的時(shí)間，采集某一特定界面的回波而排除其它回波，超聲換能器在樣品上方以二維方式作機(jī)械掃描，通過(guò)改變換能器的水平位置，在平面上以接卸掃描的方式產(chǎn)生一幅反射聲波隨反射平面分布的圖像。

超聲波掃描應(yīng)用范圍

超聲波掃描顯微鏡的應(yīng)用范圍非常廣泛。例如，在材料科學(xué)領(lǐng)域，它可以用于檢測(cè)金屬、非金屬、復(fù)合材料等各類材料的內(nèi)部缺陷和分層。在生物學(xué)和醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，它可以用于研究生物組織的結(jié)構(gòu)和功能，以及疾病的診斷。在電子工程領(lǐng)域，它可以用于檢測(cè)電子元器件的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和缺陷。半導(dǎo)體晶圓片、封裝器件、大功率器IGBT、紅外器件、光電傳感器件、SMT貼片器件、MEMS等；

材料行業(yè)：復(fù)合材料、鍍膜、電鍍、注塑、合金、超導(dǎo)材料、陶瓷、金屬焊接、摩擦界面等；

生物醫(yī)學(xué)：活體細(xì)胞動(dòng)態(tài)研究、骨骼、血管的研究等。

案例展示

超聲波掃描顯微鏡是一種強(qiáng)大的無(wú)損檢測(cè)技術(shù)，能夠提供樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)的詳細(xì)信息。它的應(yīng)用范圍廣泛，包括材料科學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)和電子工程等領(lǐng)域。雖然對(duì)樣品有一些基本要求，但這種技術(shù)的非破壞性和高分辨率特性使其成為許多應(yīng)用的首選。

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