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表面形貌觀測介紹

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表面形貌觀測應用范圍

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材料、電子、無鉛焊接、機械加工、半導體制造、航空、汽車、陶瓷品、地質學、醫學、冶金等。

表面形貌觀測手段

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1、掃描電子顯微鏡進行形貌觀察的主要內容是分析材料的幾何形貌、材料的顆粒度及顆粒度的分布、物相的結構等。

2、光學顯微鏡主要應用于工裝檢具、金屬件等的檢定，電子產品組裝、偏移、焊接異常檢驗，PCB/PCBA線路、防焊、孔、零件對準度以及文字圖形缺陷檢驗。

3、AFM全稱Atomic Force Microscope，即原子力顯微鏡，它是應用范圍廣，可用于表面觀察、尺寸測定、表面粗糙測定、顆粒度解析、突起與凹坑的統計處理、成膜條件評價、保護層的尺寸臺階測定、層間絕緣膜的平整度評價、VCD涂層評價、定向薄膜的摩擦處理過程的評價、缺陷分析等。在飛秒檢測做AFM測試對樣品有以下幾點要求：（1）對象可以是有機固體、聚合物以及生 物大分子等。（2）樣品大小一般不超過 1cm，高度也應控制在 1cm 以下，樣品表面起伏不超過 15μm。（3）測試薄膜厚度應控制在 15μm 以下。

4、輪廓測量儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器。

檢測標準

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常用標準（部分）

JYT 010-1996 分析型掃描電子顯微鏡方法通則；

GB/T 16594-2008 微米級長度的掃描電鏡測量方法通則；

IPC-6012 剛性印制板的鑒定及性能規范；

IPC-A-610電子組件的可接受性；

JIS B 0601-2013產品幾何量技術規范(GPS)表面結構輪廓法.術語、定義和表面結構參數。