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輪廓測(cè)量介紹

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光學(xué)3D表面輪廓儀也叫白光干涉儀,主要是用于產(chǎn)品微觀形貌測(cè)量,主要是測(cè)微觀粗糙度,精度一般是亞微米和納米級(jí)別的。


光學(xué)3D表面輪廓儀主要在半導(dǎo)體晶圓加工、3C行業(yè)的蓋板、光學(xué)元器件、超精密加工以及各高等院校實(shí)驗(yàn)室。


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輪廓測(cè)量?jī)x器介紹

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    儀器能力         

      

    測(cè)量范圍:200*100*50mm

    分辨率:0.1微米

    
 
    

                 


輪廓測(cè)量的應(yīng)用范圍

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                                  測(cè)量立體形狀

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                        測(cè)量細(xì)微形狀和粗糙度

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                            線粗糙度測(cè)量

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                                     平面測(cè)量

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                             面粗糙度測(cè)量

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                      比較測(cè)量

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              體積面積測(cè)量

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                      顯微觀察

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輪廓測(cè)量的應(yīng)用示例

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            金屬切削面(相隔位置的平面度)

 

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                        噴砂處理(評(píng)估粗糙度)

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          金屬斷裂面 通過(guò)表面積、體積分析


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              PGA 統(tǒng)一測(cè)量高度和個(gè)數(shù)

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               PCBA 以平面度測(cè)量起伏

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               密封條線粗糙度 面粗糙度

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               齒輪全周截面形狀

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